蓝膜盘无损上料是该设备的关键技术特征。传统上料方式往往会对蓝膜盘造成不同程度的损伤,导致芯片在后续加工中出现问题。标谱半导体通过精密的机械设计和智能控制系统,实现了对蓝膜盘的轻柔、精准处理。设备采用特制的橡胶吸嘴,配合优化的负压控制系统,能够在吸取芯片时提供恰到好处的吸附力,既保证了芯片的稳定转移,又避免了因吸附力过大造成的蓝膜损伤。
设备采用工业级控制系统,配合高精度传感器实现上料过程监控,工业电脑与高精度运动板卡的组合控制方案,确保了每一个动作的精准执行。转塔机构的设计同样体现了对无损上料的深入考量。采用DD马达直接驱动的12工位主转盘,运行平稳无振动,避免了传统传动方式可能产生的机械冲击。Torlon4203材料制成的吸嘴组件不仅耐磨耐用,其特殊表面处理更能有效减少与蓝膜的摩擦。值得一提的是,吸嘴采用旋拧固定方式,操作人员可以快速更换不同型号的吸嘴以适应多样化生产需求,这一设计既提高了设备的兼容性,又避免了频繁更换过程中对蓝膜盘的人为损伤。
在功能配置上,设备的标准组件协同工作,共同确保无损上料的实现。自动上下料组件采用智能感应技术,能够自动识别蓝膜盘的装载状态;WF视觉组件对芯片位置进行高精度检测;顶针组件则实现了芯片的平稳顶起分离。这些精密组件的有机配合,形成了一套完整的无损处理流程。特别设计的NG料盒组件能够自动分拣不良品,避免人工干预可能带来的二次损伤。
随着半导体器件向更小尺寸、更高集成度发展,对芯片加工设备的精细化要求也越来越高。标谱半导体将持续优化无损上料技术,满足行业精细化生产需求。