在LED芯片量产环境中,测试设备的稳定性和效率直接影响生产线的整体产出。深圳市标谱半导体股份有限公司的全自动探针台,专为高负荷量产环境设计,通过优化的机械结构和智能控制系统,实现了稳定高效的连续测试,为LED芯片的大规模生产提供了可靠的测试保障。
稳定的机械结构
全自动探针台采用高刚性机身设计,整机重量约900kg,有效抑制了高速运行时的振动。工作台关键部件采用优质材料制造,经精密加工和严格测试,确保长期使用不降低精度。工作盘平面度控制在中心五寸≤12μm、外圈≤15μm,为量产测试提供了稳定的基准面。
设备尺寸为1290mm×830mm×1850mm(不含三色灯),结构紧凑但功能齐全,节省了宝贵的生产场地。电源需求为220VAC(单相)50/Hz 10A,能耗控制合理,适合长时间连续运行。内置一体式自动上下料设计优化了工作流程,减少了非测试时间。
高效的测试能力
探针台支持多芯片同步测试,最多可配置20针同时工作,大幅提高了测试吞吐量。设备工作行程X轴210mm,Y轴440mm,配合4寸1.2倍扩膜工作尺寸,能够高效处理各类晶圆。自动上下片系统实现了测试流程的连续自动化,减少了人工干预。
三维座可调节±3.5mm,Z轴提供6mm行程,适应不同厚度芯片的测试需求。XY轴定位精度≤10μm/200mm,重复定位精度≤5μm,θ轴旋转角度±19°,这些精密参数确保了量产环境下依然保持高测试精度。探针系统配置灵活,可根据产量需求选择2、4、8、16或20针配置。
智能化的过程控制
全自动探针台搭载了自主研发的智能控制系统,集成了高精度运动控制、视觉定位和光电测试功能。系统能够实时监控测试过程,自动调整参数以确保测试一致性。视觉算法精确识别芯片位置,即使在高速测试下也能保证定位准确。
测试软件提供完善的数据管理和分析功能,便于追踪测试结果和工艺趋势。系统操作界面友好,参数设置简便,降低了操作人员的技术门槛。高集成度的设计减少了系统复杂度,提高了整体可靠性。
标谱半导体全自动探针台凭借其稳定的机械结构、高效的测试能力和智能化的过程控制,成为LED芯片量产测试的理想选择。设备不仅能够满足高负荷连续生产的需求,其精密的测试性能也确保了产品质量的一致性。对于追求高产出和高质量平衡的LED制造商而言,这款全自动探针台无疑是一个值得信赖的量产测试解决方案。