在半导体制造领域,芯片测试是保障产品良率的关键环节。全自动探针台作为标谱自主研发的核心设备,以高精度定位技术重新定义了芯片测试的标准。
精准定位:毫厘之间的技术突破
设备搭载高精度XYθ工作台与视觉组件,XY重复定位精度≤5μm,可精准捕捉芯片微小尺寸下的电性特征。在高速运转状态下,探针主动下压点亮芯片,同步采集电性与光学数据,避免传统测试中因定位偏差导致的数据失真。无论是3x3mil的微型芯片,还是120x120mil的大尺寸晶粒,均能实现稳定接触与精准测试。
高效协同:多维度测试的集成化方案
设备支持最多20针同步测试,兼容7寸子母环、4寸特规小铁环及6寸DISCO铁环等承片治具,满足正装、倒装LED芯片及CSP LED的多样化测试需求。标谱自主研发的运动控制、视觉算法与光电测试软件集成系统,将硬件性能与软件算法深度融合,实现测试流程的全自动化,单次测试周期缩短,大幅提升产线效率。
空间优化:紧凑设计背后的技术哲学
整机采用高集成化布局,内置一体式自动上下料模块,无需额外场地即可完成芯片的自动传输与测试。这种“向内生长”的设计理念,不仅节省了宝贵的生产空间,更通过减少人工干预降低了操作误差,为洁净车间环境下的稳定运行提供了保障。
从精密定位到高效协同,从空间优化到技术集成,全自动探针台以硬核实力诠释了“精准即效率”的制造哲学。它不仅是芯片测试的工具,更是标谱对半导体设备技术边界的持续探索。